Worauf Sie bei der Auswahl einer Vakuumpumpe achten sollten

1. Der Arbeitsdruck der Vakuumpumpe muss den Anforderungen an Grenzvakuum und Arbeitsdruck der Vakuumanlage entsprechen. Beispielsweise erfordert eine Vakuumbeschichtung einen Vakuumgrad von 1 × 10-5 mmHg, und der Vakuumgrad der ausgewählten Vakuumpumpe muss mindestens 5 × 10-6 mmHg betragen. Normalerweise ist der Vakuumgrad der ausgewählten Pumpe um die Hälfte bis eine Größenordnung höher als der Vakuumgrad der Vakuumanlage.

2. Wählen Sie den richtigen Arbeitspunkt der Vakuumpumpe. Jede Pumpe hat einen bestimmten Arbeitsdruckbereich, z. B.: Diffusionspumpe 10-3~10-7mmHg. In einem so breiten Druckbereich ändert sich die Pumpgeschwindigkeit der Pumpe mit dem Druck. Ihr stabiler Arbeitsdruckbereich beträgt 5×10-4~5×10-6mmHg. Daher sollte der Arbeitspunkt der Pumpe innerhalb dieses Bereichs gewählt werden und sie sollte nicht längere Zeit unter 10-8mmHg arbeiten.

3. Die Vakuumpumpe muss unter ihrem Arbeitsdruck in der Lage sein, das gesamte im Vakuumprozess erzeugte Gas abzulassen.

4. Kombinieren Sie die Vakuumpumpe richtig. Da die Vakuumpumpe selektiv pumpt, kann eine Pumpe manchmal die Pumpanforderungen nicht erfüllen, und mehrere Pumpen müssen kombiniert werden, um sich gegenseitig zu ergänzen und die Pumpanforderungen zu erfüllen. Darüber hinaus können einige Vakuumpumpen nicht bei atmosphärischem Druck arbeiten und benötigen ein Vorvakuum. Bei manchen Vakuumpumpen ist der Auslassdruck niedriger als der atmosphärische Druck, sodass eine Vorpumpe erforderlich ist. Daher müssen die zu verwendenden Pumpen kombiniert werden.

5. Vakuumausrüstung für Anforderungen an Ölverschmutzung. Wenn die Ausrüstung unbedingt ölfrei sein muss, sollten verschiedene ölfreie Pumpen ausgewählt werden, z. B. Wasserringpumpen, Kryopumpen usw. Wenn die Anforderungen nicht streng sind, können Sie sich für Ölpumpen entscheiden. Außerdem können einige Maßnahmen zum Schutz vor Ölverschmutzung, wie z. B. Kühlfallen, Prallplatten, Ölfallen usw., die Anforderungen an sauberes Vakuum ebenfalls erfüllen.

6. Verstehen Sie die Zusammensetzung des gepumpten Gases, ob das Gas kondensierbaren Dampf enthält, ob Partikelstaub vorhanden ist, ob Korrosion vorliegt usw. Bei der Auswahl einer Vakuumpumpe ist es notwendig, die Gaszusammensetzung zu kennen und die entsprechende Pumpe für das gepumpte Gas auszuwählen. Wenn das Gas Dampf, Partikel und korrosive Gase enthält, sollte erwogen werden, Zusatzgeräte wie Kondensatoren, Staubsammler usw. am Pumpeneinlassrohr anzubringen.

7. Welche Auswirkungen hat der von der Vakuumpumpe abgegebene Öldampf auf die Umwelt? Wenn die Umwelt nicht verschmutzt werden darf, können Sie eine ölfreie Vakuumpumpe wählen oder den Öldampf nach außen ablassen.

8. Ob die von der Vakuumpumpe während des Betriebs erzeugten Vibrationen Auswirkungen auf den Prozess und die Umgebung haben. Wenn der Prozess dies nicht zulässt, sollten Sie eine vibrationsfreie Pumpe wählen oder vibrationshemmende Maßnahmen ergreifen.